網(wǎng)上閑逛,發(fā)現(xiàn)個(gè)和張老師當(dāng)年所學(xué)非常接近的內(nèi)容,昨夜思考橢圓振動(dòng)切削的原理都失眠了,轉(zhuǎn)載過(guò)來(lái),希望有識(shí)之士解釋一下:
如何能在道具橢圓振動(dòng)之下加工出鏡面呢?這個(gè)橢圓振動(dòng)相對(duì)于被加工工件來(lái)說(shuō)是怎樣的運(yùn)動(dòng)?
研究?jī)?nèi)容:
一,通過(guò)橢圓振動(dòng)切削進(jìn)行超精密、微細(xì)加工
專家們?cè)O(shè)計(jì)了稱為橢圓振動(dòng)切削的獨(dú)創(chuàng)性的加工方法,并進(jìn)行了以實(shí)用化為目的的研究開(kāi)發(fā)。
該方法通過(guò)使刀具刀尖一邊橢圓振動(dòng)一邊進(jìn)行加工。由于一邊斷續(xù)地拉起切屑一邊進(jìn)行切削,因此與通常切削相比剪切角變大,能夠減小切削力、切削能量、切削熱。
另外,在通常切削中,由于急劇工具磨損或被切削材料的脆性破壞,不可能實(shí)施的淬火鋼或玻璃的鏡面加工,也可以用該方法實(shí)現(xiàn)。
該校目前,正在進(jìn)行與該切削工藝解析、測(cè)量相關(guān)的基礎(chǔ)研究、對(duì)單晶材料、燒結(jié)材料等各種難切削材料的應(yīng)用、微/納米級(jí)的功能性表面的高效超精密加工等的研究。
楕円振動(dòng)切削を利用した磨きレス鏡面加工

二,利用橢圓振動(dòng)切削的無(wú)磨鏡面加工
在橢圓振動(dòng)切削加工中,對(duì)于淬火后的模具鋼,可以實(shí)現(xiàn)鏡面水平的表面粗糙度。因此,將本方法用于模具加工時(shí),不需要使形狀精度劣化的研磨工序(無(wú)研磨)。
在以往的2自由度振子和控制系統(tǒng)中,由于振動(dòng)工具和被切削材料的干涉等,加工形狀受到限制。
正在開(kāi)發(fā)使用自由曲面的鏡面加工技術(shù)被期待作為實(shí)現(xiàn)模具鋼的無(wú)拋光鏡面加工的下一代制造技術(shù)。

三,CMP工藝建模與高精度分析模型開(kāi)發(fā)
作為半導(dǎo)體制造工藝之一,為了使晶片表面產(chǎn)生的凹凸平坦化,利用了被稱為CMP(Chemical Mechanical Polishing)的研磨技術(shù)。
它在集成度高的產(chǎn)品的制造中是必須的技術(shù),以提高研磨率控制性和劃痕抑制等性能。
利用ALE有限元法開(kāi)發(fā)了高精度的研磨過(guò)程分析模型,在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)了能夠高精度推定以往技術(shù)中困難的材料特性等各種條件對(duì)研磨過(guò)程的影響的解析方法。
并且,正在研究研磨率分布的控制技術(shù)和新的過(guò)程監(jiān)控技術(shù)。

四,具有三維微結(jié)構(gòu)的高效率微混合器的開(kāi)發(fā)

近年來(lái),在一個(gè)小型芯片上進(jìn)行流體的混合、提取、分析等的系統(tǒng)(μ-TAS)的研究正在進(jìn)行。
但是,在形成于此的微流道中,由于尺寸微小,成為雷諾數(shù)的小層流,流體難以混合是難題。
因此,雖然進(jìn)行了很多微型混合器的研究,但由于以往主要利用半導(dǎo)體工藝,因此存在其形狀受限、混合效率差、制造困難等問(wèn)題。
在本研究方案中,設(shè)計(jì)了通過(guò)機(jī)械加工制作模具,通過(guò)一次轉(zhuǎn)印成形可以批量生產(chǎn)獨(dú)立的高效率切向轉(zhuǎn)換型微型混合器,并正在嘗試開(kāi)發(fā)兼顧低成本和高效率混合的微型混合器。